硅片清洗后有水印怎么办, 一、硅片清洗后有水印怎么办?
1.如果洗不干净,可以拿一些干净的硅片再清洗一遍。不要翻清洁剂罐看有没有水印。如果不是,就是清洗剂有问题,调整一下。
2.如果烘干不够,取出硅片甩干或吹干后再进入烘干通道,看是否有水印。如果没有,增加干燥通道的强度。
3.水中杂质含量过高,难以清洗。把水里的杂质去掉就行了。
2.硅片清洗工艺有哪些步骤?
吸附在硅片表面的杂质可以分为三种:分子、离子和原子。其中,分子杂质与硅片表面之间的吸附力较弱,因此很容易去除这类杂质颗粒。大部分属于油类杂质,具有疏水性的特点。
它对去除离子和原子杂质有掩蔽作用。
所以化学清洗硅片时,要先清洗干净。离子和原子吸附杂质属于化学吸附杂质,吸附力较强。
一般情况下,原子吸附杂质的量较小,所以在化学清洗中,应先去除离子吸附杂质,再去除剩余的离子杂质和原子杂质。
最后,用高纯去离子水清洗硅片,然后加热干燥或旋转,得到表面洁净的硅片。
综上所述,硅片清洗的一般流程是:去分子去离子去原子去离子水冲洗。此外,为了去除硅晶片表面的氧化层,通常增加稀氢氟酸浸泡步骤。
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